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发明名称
摘要
申请公布号
JP3488158(B2)
申请公布日期
2004.01.19
申请号
JP19990372658
申请日期
1999.12.28
申请人
发明人
分类号
H01L21/304;B08B3/08;C11D3/39;C11D7/06;C11D11/00;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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