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发明名称 COATING FORMING AGENT FOR REDUCING PATTERN DIMENSION AND METHOD OF FORMING FINE PATTERN THEREWITH
摘要
申请公布号 AU2003246208(A1) 申请公布日期 2004.01.19
申请号 AU20030246208 申请日期 2003.06.26
申请人 TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 发明人 YOSHIKI SUGETA;FUMITAKE KANEKO;TOSHIKAZU TACHIKAWA
分类号 G03F7/40;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/40 主分类号 G03F7/40
代理机构 代理人
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