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发明名称
摘要
申请公布号	JP3489198(B2)	申请公布日期	2004.01.19
申请号	JP19940187208	申请日期	1994.08.09
申请人		发明人
分类号	H01B3/08;G03F7/004;H01B3/00;H01B3/44;H01J9/02;H01J11/22;H01J11/34;H01J11/36;(IPC1-7):H01B3/00;H01J11/02	主分类号	H01B3/08
代理机构		代理人
主权项
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