碳奈米微粒子之制造方法,碳奈米微粒子之制造装置,以及单层碳奈米管

摘要

本发明提供包含碳奈米角、极短单层碳奈米管等碳奈米材料之碳奈米微粒子之制造方法及其制造装置。石墨阴极1及石墨阳极2夹着一处具有缺口部4之绝缘板3而相向配置。施加电压于二电极间，使绝缘板3之缺口部4产生电弧放电。令石墨阳极2特定区域产生蒸发的同时，从电弧放电之电极点由缺口部4形成弧射5。藉此产生包含碳奈米角之由碳奈米材料烟灰9构成之碳奈米微粒子。并令该烟灰9被着于回收板7而加以回收。