发明名称 减少金属腐蚀之电化学方法处理基板之装置与方法
摘要 本发明揭示一种于自动化制造环境中进行排程的方法和装置。此方法包括在生产流程中侦测预定事件的发生;通知软体排程代理人该发生的事件;以及从该软体排程代理人对侦测预设事件的反应中主动进行排程活动。此自动化制造环境的装置包括生产流程以及计算系统。该计算系统进一步包括置于其中的多数个软体排程代理人,该软体排程代理人能够在生产流程的活动中对多数个预设事件产生反应式约定排程。
申请公布号 TW200401362 申请公布日期 2004.01.16
申请号 TW092117062 申请日期 2003.06.24
申请人 高级微装置公司 发明人 艾索 布雷苏
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人 洪武雄;陈昭诚
主权项
地址 美国
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