装置的制造方法及装置的制造装置,装置及电子机器

摘要

本发明的课题是在于提供一种在多层配线装置中进行乾燥处理时，可维持高作业性，且能以低成本来制造装置之装置的制造装置。其解决手段为装置的制造装置S具备：可在基板P上配置液状材料之喷墨装置10，及使加热至特定温度的气体接触于基板P之预乾燥装置80。