有机电场发光材料涂布装置及方法

摘要

本发明之有机电场发光材料涂布装置及方法，其课题在于使含有机电场发光材料之涂布液经常稳定地从喷嘴朝基板喷出。其手段在于构成喷嘴4a之喷嘴本体41的内部空间SP具有作为使有机电场发光材料10a流通用的流路功能。然后，在该流路上，且在从设于喷嘴前端之孔口(orifice)45a离开的内部位置上配设有通滤器43。该过滤器43的过滤精度为10μm，以捕集异物或凝胶化溶质等以阻止这些异物到达孔口45a者。因此，可确实防止因该等异物等所造成的孔口45a之堵塞。