摘要 |
本发明系提供,既使厚膜仍具良好灵敏度之正型感光性聚合物组成物,及既使厚膜仍具良好灵敏度,且既使降低对聚醯亚胺之热处理温度仍具有良好膜延伸性之正型耐热性感光性聚合物组成物,及该既使厚膜仍具良好灵敏度之正型感光性聚合物组成物、与既使厚膜仍具有良好灵敏度,且既使降低对聚醯亚胺之热处理温度仍具良好膜延伸性之凹凸图案的制造方法,及具有既使厚膜仍具良好灵敏度,且既使降低对聚醯亚胺之热处理温度仍具良好膜延伸性之凹凸图案的电子零件。又,上述感光性聚合物组成物为,含有(a)末端号实质之胺基(-NH2),且具有受保护基保护之酸性基的聚醯亚胺先驱物及聚醯亚胺中所选出的聚合物,以及(b)利用光照射可产生酸,而使受保护之酸性基脱离保护基的化合物所形成。 |