薄膜制造装置

摘要

本发明之课题，在于提供能够达成晶圆面内之分布均匀性的薄膜制造装置。本发明之解决手段，在于将该装置作成：于气体混合室底面之周缘部设置混合气体之供输口24a，用以从气体混合室24供输混合气体与喷淋头25，而使混合气体能从喷淋头上面之周缘部朝向中心部流动的构造；又作成：设置用以排出成膜室3内之排气的排气口32于较成膜室侧壁之成膜时载物台31之位置为下方部分之处，使成膜室内之排气朝成膜室之侧壁方向而由排气口排出之构造。另以昇降自如的方式形成载物台31，并作成喷淋头25与基板5间之距离为可调式者。