发明名称 Halbleiteranordnung
摘要 Die Erfindung betrifft eine Halbleiteranordnung mit einem aktiven Gebiet, sowie einer Metallisierungsschicht, bestehend aus zumindest einer ersten Metallebene und Verbindungsleitungen zwischen dem aktiven Gebiet und der Metallisierungsschicht, wobei die zumindest eine Metallebene in ein Intermetall-Dielektrikum gebettet ist, wobei eine UV-Schutzebene in die Metallisierungsschicht integriert ist sowie einem Verfahren zur Herstellung einer solchen Halbleiteranordnung.
申请公布号 DE10229463(A1) 申请公布日期 2004.01.15
申请号 DE2002129463 申请日期 2002.07.01
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 RIEDEL, STEPHAN;STEIN VON KAMIENSKI, ELARD;POLEI, VERONIKA;VOGT, MIRKO
分类号 H01L21/8246;H01L23/552;H01L27/115;(IPC1-7):H01L23/552;H01L21/824;H01L23/52;H01L21/768 主分类号 H01L21/8246
代理机构 代理人
主权项
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