| 发明名称 |
METAL NANO-OBJECTS, FORMED ON SEMICONDUCTOR SURFACES, AND METHOD FOR MAKING SAID NANO-OBJECTS |
| 摘要 |
Nano-objets métalliques, formés sur des surfaces de semiconducteurs, et procédé de fabrication de ces nano-objets.L'invention s'applique en nano- électronique et permet par exemple d'obtenir des nano-objets (4) par dépôt d'un métal sur une surface préparée (2) de SiC cubique. |
| 申请公布号 |
CA2491514(A1) |
申请公布日期 |
2004.01.15 |
| 申请号 |
CA20032491514 |
申请日期 |
2003.07.04 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE;UNIVERSITE PARIS-SUD |
发明人 |
ARISTOV, VICTOR;SOUKIASSIAN, PATRICK;D'ANGELO, MARIE |
| 分类号 |
B82B1/00;B82B3/00;C23C14/04;C30B23/00;C30B33/00;H01L21/04;H01L29/04;H01L29/06;H01L29/15;H01L29/24 |
主分类号 |
B82B1/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
