CAPACITIVE PRESSURE SENSOR

摘要

Zur Minimierung des Spannefehlers eines Drucksensors mit einem im wesentlichen zylindrischen Grundkörper und einer an einer Stirnfläche des Grundkörpers gefügten Messmembran, wobei die Druckmesszelle axial eingespannt ist zwischen einem elastischen Dichtring, der auf der membranseitigen Stirnseite der Druckmesszelle aufliegt, und einem Stützring, der die Druckmesszelle rückseitig abstützt, sind die Abmessungen des Stützrings solchermassen auf die Abmessungen des Dichtrings und der Druckmesszelle abgestimmt dass eine durch die axiale Einspannung der Druckmesszelle bedingte radiale Verformung der membranseitigen Stirnfläche so gering ist, dass der Spannenfehler des Drucksensors aufgrund einer Reduzierung der axialen Einspannkraft um mindestens 10% nicht mehr als etwa 0,02% beträgt. Die Geometrie des Stützrings wird iterativ mittels FEM ermittelt.