| 发明名称 |
ANGESAUGTES MATERIAL DETEKTOR UND METHODE, VERFAHREN ZUR ERFASSUNG VON AUSRICHTUNGSFEHLERN UND REINIGUNGSVERFAHREN MIT HILFE DIESES DETEKTORS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69726575(D1) |
申请公布日期 |
2004.01.15 |
| 申请号 |
DE19976026575 |
申请日期 |
1997.05.28 |
| 申请人 |
ADVANTEST CORP., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
FURUTA, KATSUNOBU |
| 分类号 |
G01R31/26;B25J15/06;B65G57/04;B65G59/04;G01V8/10;G01V8/16;H01L21/677;H05K13/02;H05K13/04;H05K13/08;(IPC1-7):H05K13/08 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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