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Eine Prozessanlage zur elektrochemischen Behandlung eines Substrats ist so ausgebildet, um die Sauerstoffkonzentration und/oder die Schwefeldioxidkonzentration in der Nähe des Substrats zu reduzieren, so dass eine Korrosion von Kupfer verringert werden kann. In einer Ausführungsform wird eine im Wesentlichen inerte Atmosphäre innerhalb der Prozessanlage, die einen Galvanisierungsreaktor enthält, errichtet, indem ein kontinuierlicher Inertgasstrom und/oder indem eine Abdeckung bereitgestellt wird, die einen Gasaustausch mit der Umgebungsatmosphäre reduziert. Die im Wesentlichen inerte Gasatmosphäre kann ferner während weiterer Prozessschritte, die bei der elektrochemischen Behandlung des Substrats einschließlich erforderlicher Transportschritte zwischen den einzelnen Prozessschritten beteiligt sind, aufrechterhalten werden. |
