| 发明名称 |
Surface recovery of contaminated deposition tools |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IE20030498(A1) |
申请公布日期 |
2004.01.14 |
| 申请号 |
IE20030000498 |
申请日期 |
2003.07.02 |
| 申请人 |
OMC SCIENTIFIC RESEARCH LIMITED |
发明人 |
RICHARD GIBBONS |
| 分类号 |
C23F4/04;C23G1/02;C25C5/02;(IPC1-7):C23F4/04 |
主分类号 |
C23F4/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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