冷等离子体对各类高分子材料进行表面改性的装置

摘要

本实用新型涉及一种冷等离子体对各类高分子材料进行表面改性的装置，包括：电极、一带底盘的圆筒和圆筒的一端通过法兰与密封圈联接固定的密封门组成的反应室壳体，壳体上设有放气口、抽气口、进气口、真空测量接口，真空泵通过真空管道与抽气口密封连接；真空测量接口通过真空管道与真空测量部件连接；还包括两个动态真空密封接头焊接在圆筒的底盘上，传动轴与动态真空密封接头动态联接，一外接转速控制部件与动态真空密封接头相连接；所述的电极是一对内电极，在反应室内壁上对称设置一对电源导电柱和一绝缘柱，导电柱与电极联接；绝缘柱将绝缘板和电场强度调节件固定在反应室内壁与内电极之间。实现能批量地处理大体积的工业部件。

主权项

1.一种冷等离子体对各类高分子材料进行表面改性的装置，包括：电极、一个由带底盘的园筒(4)和园筒(4)的一端通过法兰(3)与密封圈联接固定的密封门(2)组成的反应室壳体，其中反应室园筒侧壁上设有放气口(14)、抽气口(9)、进气口(7)、真空测量接口(5)，真空泵通过真空管道与抽气口(9)密封连接；真空测量接口(5)通过真空管道与真空测量部件连接；其特征在于：还包括两个动态真空密封接头(11)、传动轴(10)、绝缘板(6)和电场强度调节件(15)；其中两个动态真空密封接头(11)焊接在园筒(4)的底盘上，传动轴(10)与动态真空密封接头(11)动态联接，传动轴与外接转速控制部件通过动态真空密封接头(11)相连接；所述的电极是一对内电极(81)，在反应室内壁上对称设置一对电源导电柱(12)，导电柱(12)与电极(81)相联接；反应室内壁上有一绝缘柱(16)，通过绝缘柱(16)固定绝缘板(6)和电场强度调节件(15)在反应室内壁与内电极(81)之间。