泵

摘要

本发明目的在于提供一种驱动效率良好的泵，该泵减少了机械开闭阀的个数，减少了压力损失并提高了可靠性，对应于高负荷压力、高频率驱动，使每一周期泵动的排出流体体积增加。设于泵体7底部的圆形隔膜5的外周边固定在泵体7上。隔膜的底面上设置驱动隔膜5的压电元件6。隔膜5和泵体7的上壁之间的空间为泵室3，设有朝向该泵室的流通阻力元件即止回阀4的入口通路1和在泵工作时通常与泵室连通的出口通路2均开口。该泵通过周期控制装置来驱动控制压电元件，以形成使泵排出流体体积、排出压力增加的隔膜的周期。

主权项

1.一种泵，其中设有：使柱塞或隔膜等可动壁位移的执行元件，驱动控制该执行元件的驱动装置，可通过所述可动壁的位移改变容积的泵室，使工作流体流入所述泵室的入口通路，以及使工作流体流出所述泵室的出口通路，其特征在于：所述出口通路在泵工作时与所述泵室连通，所述入口通路的合成粘滞值比所述出口通路的合成粘滞值小，所述入口通路中设有使工作流体流入泵室时的流体阻力比流出时的流体阻力小的流体阻力元件；所述驱动装置中设有改变所述可动壁的动作周期的周期控制装置。