微位移实时干涉测量仪

摘要

一种微位移实时干涉测量仪，其特点是它包括：带有第一直流电源的光源，在该光源发射光束前进方向上同光轴地依次置有第一透镜、偏振分束器、分束器、参考平板和被测物体；在该分束器的反射光束f₂方向置有接收元件，其输出送单片机，再接显示器；在该偏振分束器的反射光束f₁前进的方向上，依次置有第二透镜和调制光源；该调制光源带有驱动器，该驱动器连接第二直流电源和移相器，该移相器另一端接正弦信号发生器，该正弦信号发生器经控制器接单片机。该光源和调制光源发出的光束是偏振面相互垂直的偏振光。本实用新型的优点是能高精度地实时完成信号的采集、处理和显示，而且操作简便、测量数据可靠。

主权项

1、一种微位移实时干涉测量仪，其特征在于它的构成包括：光源(1)带有第一直流电源(10)，在该光源(1)发射光束前进方向上同光轴地依次置有第一透镜(2)、偏振分束器(17)、分束器(3)、参考平板(18)和被测物体(5)；在该分束器(3)的反射光束f2方向置有接收元件(6)，其输出送单片机(7)，再接显示器(8)；在该偏振分束器(17)的反射光束f1前进的方向上，依次置有第二透镜(16)和调制光源(15)；该调制光源(15)带有驱动器(9)，该驱动器(9)连接第二直流电源(14)和移相器(13)，该移相器(13)的另一端接正弦信号发生器(11)，该正弦信号发生器(11)经控制器(12)接单片机(7)；光源(1)和调制光源(15)发出的光束是偏振面相互垂直的偏振光。