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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR VIBRATION CONTROL
摘要
申请公布号 EP1380000(A2) 申请公布日期 2004.01.14
申请号 EP20020753853 申请日期 2002.03.25
申请人 CYMER, INC. 发明人 PLETNER, BARUCH;KARPEL, MORDECHAY;DORN, HUCKLEBERRY, B.;PERKINS, RICHARD;LUBLIN, LEONARD
分类号 H01L21/68;F16F;G03F7/20;G05B19/19;G06F19/00;H01L21/027;(IPC1-7):G06F19/00 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
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