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发明名称
摘要
申请公布号 JP3486193(B2) 申请公布日期 2004.01.13
申请号 JP19980532447 申请日期 1998.01.29
申请人 发明人
分类号 H01L33/00;H01S5/042;H01S5/30;H01S5/34;H01S5/347;(IPC1-7):H01S5/347 主分类号 H01L33/00
代理机构 代理人
主权项
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