半导体设备之静电夹头能量自动释放装置

摘要

在切断静电夹头驱动电源时能完全释放残留在静电夹头里之残余电压的半导体设备静电夹头能量自动释放装置中，它系由下列构件来构成：一个高电压决定部件，用以依据来自外部之高电压决定值决定在高电压产生变压器中产生之高电压；该高电压产生变压器系用以经由该高电压决定部件的控制，产生将被供应到静电夹头的高电压；一个高电压控制部件，用以依据驱动电源启动/停止状态控制从高电压产生变压器供应到静电夹头之高电压；以及一个释放电路部件，用以中断静电夹头之电源时强力释放残留在静电夹头里之残余电压，藉此在数种用以制造半导体元件之半导体设备中，经由在中断静电夹头之驱动电源时完全释放静电夹头里残留之残余电压，而防止由夹住现象所造成的晶圆滑动或破损现象。

主权项

1.一种半导体设备之静电夹头能量自动释放装置,包含:一个高电压决定部件,用以依据来自外部的一个高电压决定値决定在一个高电压产生变压器内产生之高电压;该高电压产生变压器系用以经由一个高电压决定部件之控制产生将被供应到一个静电夹头之高电压;一个高电压控制部件,用以依据电源的启动/停止状态控制从该高电压产生变压器被供应到该静电夹头之该高电压;以及一个释放电路部件,用以在中断该静电夹头之电源时强力释放残留在静电夹头里之残余电压。2.如申请专利范围第1项之装置,其中该高电压控制部件包括一个高电压控制继电器,用以连接该高电压产生变压器之输出端子到该静电夹头的一个正电压端子和一个负电压端子。3.如申请专利范围第2项之装置,其更包含一个残余电压检测部件,其在该静电夹头之电源被切断时被连接到该静电夹头的正电压端子、检测该静电夹头的残余电压并且提供该残余电压到一个监视器。4.如申请专利范围第1项之装置,其中该释放电路部件包含和该静电夹头的电源启动/停止状况连锁的一个释放继电器,用以连接该静电夹头的正电压端子和负电压端子到一个释放元件;并且该释放元件经由该释放继电器来和该静电夹头之该正电压端子和该负电压端子之二个末端连接,该释放元件系用以释放残留在该静电夹头里之残余电压。5.如申请专利范围第4项之装置,其中该释放元件是一个氖灯。图式简单说明:第1图是一个说明根据本发明构成之一种半导体设备静电夹头能量自动释放装置的方块图。