基板用卡匣之槽口检测装置

摘要

本发明提供不须对机器人进行繁琐的教示即可更换基板的一种基板用卡匣之槽口检测装置。双臂式基板搬送机器人1系具有用以检测基板用卡匣100的槽口101之装置，而该槽口检测装置系具备可朝基板用卡匣100的内外前进后退且可沿着基板用卡匣100内的多数卡匣101之排列方向移动的感应器51至53；而可依据感应器51至53在基板用卡匣100内顺沿槽口排列方向移动时的感应器输出信号来检测基板用卡匣100内的各槽口位置。五、(一)、本案代表图为：第＿＿1＿＿＿图(二)、本案代表图之元件代表符号简单说明：1…基板搬送机器人(双臂式基板搬送机器人、单臂式基板搬送机器人)2…检测用臂部3…搬送用臂部4…本体部5…机台6…编码器21…检测用臂部的第2臂22…检测用臂部的第1臂23…感应器保持部24…U字形构件31…搬送用臂部3的第2臂32…搬送用臂部3的第1臂33…搬送用臂部3的手部51…槽口位置检测用感应器52…卡匣起点确认感应器53…卡匣终点确认感应器54…基板感应器

主权项

1.一种基板用卡匣之槽口检测装置,其特征为:具备可朝基板用卡匣的内外前进后退且可顺沿基板用卡匣内的多数槽口之排列方向移动的感应器,而可依据上述感应器在上述基板用卡匣内顺沿上述槽口排列方向移动时的输出信号,来检测上述基板用卡匣内的各槽口位置。2.如申请专利范围第1项之基板用卡匣之槽口检测装置,其中,上述感应器的构造包括:槽口位置检测用感应器,用以检测由上述多数槽口所形成之重复凹凸形状;卡匣起点确认感应器,用以检测在上述基板用卡匣的壁面上,亦即上述槽口排列方向上位于起点侧之壁面的存在与否;及卡匣终点确认感应器,用以检测在上述基板用卡匣的壁面上,亦即上述槽口排列方向上位于终点侧之壁面的存在与否。3.如申请专利范围第2项之基板用卡匣之槽口检测装置,其中,上述槽口位置检测用感应器、上述卡匣起点确认感应器及上述卡匣终点确认感应器系设置于双臂式基板搬送机器人之检测用臂部的前端部。4.如申请专利范围第3项之基板用卡匣之槽口检测装置,其中,上述检测用臂部具有基板感应器,而该基板感应器系用以检测上述基板用卡匣内是否具有基板。5.如申请专利范围第2项之基板用卡匣之槽口检测装置,其中,上述槽口位置检测用感应器、上述卡匣起点确认感应器及上述卡匣终点确认感应器系设置于单臂式基板搬送机器人之搬送用臂部的前端部。6.如申请专利范围第5项之基板用卡匣之槽口检测装置,其中,上述搬送用臂部具有基板感应器,而该基板感应器系用以检测上述基板用卡匣内是否具有基板。图式简单说明:第1图系本发明第1实施型态之双臂式基板搬送机器人的斜视图。第2图系槽口位置检测用感应器的动作说明图。第3图系卡匣起点确认感应器及卡匣终点确认感应器的动作说明图。第4图(A)、(B)系槽口检测装置的动作说明图。第5图(A)、(B)系本发明第2实施型态之单臂式基板搬送机器人的槽口检测装置之动作说明图。第6图系槽口位置检测用感应器、卡匣起点确认感应器及卡匣终点确认感应器安装于手部的说明图。第7图(A)、(B)、(C)、(D)、(E)系各种搬送方式图。第8图系基板用卡匣的斜视图。