| 主权项 |
1.一种探针检测装置,包括:一固定座,具有一第一位置以及一第二位置;一探针基座,以可滑动方式设置于该第一位置与该第二位置之间,其中该探针基座具有一通孔;一光纤连接器,设置于该固定座,通过该探针基座之该通孔;以及一探针,以悬臂方式设置于该探针基座,且该光纤连接器射出之光线投射在该探针上。2.如申请专利范围第1项所述之探针检测装置,其中该光纤连接器通过该通孔并且留有一余隙。3.如申请专利范围第2项所述之探针检测装置,其中该余隙大于或等于该探针基座由该第一位置移动到该第二位置之距离。4.如申请专利范围第1项所述之探针检测装置,其更包括一固定部设置于该探针基座,用以固定该探针基座之位置。5.如申请专利范围第4项所述之探针检测装置,其中,该固定部包括一螺丝,设置于该探针基座,用以锁固该探针基座于该第一位置或第二位置。6.如申请专利范围第4项所述之探针检测装置,其中,该固定部包括:一螺丝;设置于该探针基座;一滑轨,该探针基座于该滑轨上移动;以及一弹簧,设置于该滑轨上,该探针基座与该光纤连接器之间,其中,该螺丝系用以将该探针基座自该第一位置推移到该第一位置与该第二位置之间,使得该光纤连接器射出之光线投射在该探针之尖端,且利用该弹簧将该探针基座压向该第一位置,防止该探针基座滑动。图式简单说明:第1图系习用扫描探针显微镜干涉仪架构;第2图系干涉讯号强度变化示意图;第3图系习用探针检测装置结构剖面图;第4图系本发明第一实施例探针检测装置使用短探针状态下之剖面图;第5图系本发明第一实施例探针基座之上视图;第6图系本发朋第一实施例探针检测装置使用短探针状态下之上视图;第7图系本发明第一实施例探针检测装置使用长探针状态下之剖面图;第8图系本发明第一实施例探针检测装置使用长探针状态下之上视图;第9图系本发明第二实施例探针检测装置使用最短探针状态下之剖面图;第10图系本发明第二实施例探针检测装置使用最短探针状态下之上视图。 |
