| 主权项 |
1.一种被检查基板之检查装置,系包括:用以接受被 检查基板,可在所接受的被检查基板呈水平状态的 交付装置以及被检查基板呈倾斜状态的检查位置 之间进行选择性移位的检查台;使该检查台在交付 装置与检查位置之间进行选择性移位的移位机构; 一个以上的探针装置,该装置系具备有与移位至检 查位置的检查台上所承接的被检查基板的电极相 接触的接触子;以及当前述检查台移位至交付装置 时,将被检查基板交付至前述检查台之交付装置。 2.如申请专利范围第1项之检查装置,其中,更包括 有:设置具有被检查基板1个以上的匣盒的匣盒设 置台,而前述交付装置系将被检查基板交付至前述 检查台与前述匣盒。3.如专利申请范围第1项或第2 项之检查装置,其中,前述检查台系配置于检查部, 而前述匣盒设置台则配置在与前述检查部之间留 有左右方向之间隔的匣盒设置部,前述交付装置则 配置在位于前述检查部与前述匣盒设置部之间的 装载部。4.如专利申请范围第1或第2项之检查装置 ,其中,前述移位机构系包括有:可以旋转方式在朝 水平方向延伸的轴线的四周接受前述检查台之基 座;使前述检查台选择性地移位至前述交付装置及 前述检查位置之间的驱动机构。5.如专利申请范 围第3项之检查装置,其中,前述移位机构系包括有: 在朝水平方向延伸之轴线的四周以可旋转之方式 接受前述检查台之基座;及使前述检查台在前述交 付装置及前述检查位置之间进行选择性移位之驱 动机构。6.如专利申请范围第1项之检查装置,其中 ,更具备有使前述探针装置朝向当前述检查台移位 至检查位置时与被检查基板交错的Z方向移动的移 动机构。7.如专利申请范围第1项或第2项之检查装 置,其中,前述检查台更具备有:承受前述被检查基 板之夹盘顶部;安装有该夹盘顶部的背光装置;及 使该背光装置在与前述被检查基板平行的面内进 行二次元移动的同时,使其在朝前述Z方向延伸的Z 轴线的四周进行角度式旋转的对准台。8.如专利 申请范围第3项之检查装置,其中,前述驱动机构系 包括有:在朝水平方向延伸的状态下配置于前述基 座之导螺杆;螺合于该导螺杆之簧片螺帽;及在朝 着与前述导螺杆的延伸方向垂直的方向延伸的轴 线的四周,以可进行枢轴运动的方式安装在簧片螺 帽的一端部的一个以上的接合臂,而前述检查台则 以枢轴方式安装于前述两接合臂的另一端部。9. 如专利申请范围第3项之检查装置,其中,前述检查 台系藉由朝水平方向延伸之轴枢而支撑于前述基 座,前述驱动机构系包括有:装设于轴枢之从动齿 轮;及使从动齿轮进行角度旋转之驱动源;而前述 检查台系连接于前述从动齿轮。图式简单说明: 第1图为显示本发明之检查装置的一实施例之正视 图,该图为在去除匣盒设置部及装载部前面面板的 状态下之图。 第2图为沿着第1图的2-2线所得之剖视图。 第3图为沿着第1图的3-3线所得之剖视图。 第4图为显示探针装置及其附近部的细部之俯视图 。 第5图为沿着第4图的5-5线所得之剖视图。 第6图为显示检查台及变位机构的一实施例之俯视 图。 第7图为第6图所示之检查台及变位机构的正视图 。 第8图为检查装置的动作说明图。 第9图为继第8图之后的动作说明图。 第10图为继第9图之后的动作说明图。 第11图为用以说明继第10图之后的动作说明图。 第12图为本发明所使用的变位机构的其它实施例 的正视图。 第13图为第12图所示的变位机构的侧视图。 第14图为第12图所示的变位机构之侧视图,该图为 显示使显示检查台倾斜时之状态。 |
