| 发明名称 |
Rekristallisiertes, gesintertes Siliciumcarbidmaterial und Herstellungsverfahren dafür |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69819964(D1) |
申请公布日期 |
2004.01.08 |
| 申请号 |
DE1998619964 |
申请日期 |
1998.06.16 |
| 申请人 |
NGK INSULATORS, LTD. |
发明人 |
HANZAWA, SHIGERU;KOMIYAMA, TSUNEO;AIHARA, YASUFUMI |
| 分类号 |
C04B35/565;C04B35/573;C04B35/64;H01L21/683;H01L23/373;(IPC1-7):C04B35/573 |
主分类号 |
C04B35/565 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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