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发明名称 Halbleiterscheibe Polierverfahren und Polierkissen Abrichtverfahren
摘要
申请公布号 DE69814241(T2) 申请公布日期 2004.01.08
申请号 DE19986014241T 申请日期 1998.06.23
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 HASHIMOTO, SHIN;HIDAKA, YOSHIHARU
分类号 B24B37/04;B24B53/007;H01L21/304;(IPC1-7):B24B1/00;B24B53/00 主分类号 B24B37/04
代理机构 代理人
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