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发明名称
摘要
申请公布号	JP2004500481(A)	申请公布日期	2004.01.08
申请号	JP20010501443	申请日期	2000.05.30
申请人		发明人
分类号	C23C16/24;B32B;C23C;H01L21/205;H05H;(IPC1-7):C23C16/24	主分类号	C23C16/24
代理机构		代理人
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