Verfahren und System zum Verbessern der Herstellung von Damaszener-Metallstrukturen

摘要

In einem Verfahren zur Vorortsteuerung des Maßes an Füllung von breiten Linien in einer Damaszener-Struktur wird ein optisches Endpunktdetektionssignal analysiert, um eine Zeitdauer mit im Wesentlichen konstanter Signalamplitude zu bestimmen. Die Zeitdauer wird dann als ein Maß für das in eine breite Linie einer Damaszener-Struktur eingefüllte Metall verwendet. Durch Herstellen einer Korrelation der Länge der Zeitdauer zu mindestens einem Prozessparameter, der bei der Herstellung der Damaszener-Struktur beteiligt ist, kann der Grad der Füllung von Linien in der Damaszener-Struktur so angesteuert werden, dass dieser in einem vordefinierten zulässigen Bereich bleibt.