| 发明名称 |
Verfahren zur Behandlung eines Resists |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69913060(D1) |
申请公布日期 |
2004.01.08 |
| 申请号 |
DE1999613060 |
申请日期 |
1999.09.09 |
| 申请人 |
USHIODENKI K.K., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
KOMORI, MINORU |
| 分类号 |
G11B5/31;G03F7/38;G03F7/40;H01B3/36;H01L21/027;(IPC1-7):H01B3/36;G03F7/20;H01J37/317 |
主分类号 |
G11B5/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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