发明名称
摘要
申请公布号 JP2004500715(A) 申请公布日期 2004.01.08
申请号 JP20010566234 申请日期 2001.03.02
申请人 发明人
分类号 H01L29/06;G02B6/12;H01L21/18;H01L21/26;H01L21/263;H01L21/268;H01L27/15;H01L33/06;H01L33/08;H01L33/30;H01S5/026;H01S5/20;H01S5/22;H01S5/34;(IPC1-7):H01L21/26 主分类号 H01L29/06
代理机构 代理人
主权项
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