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发明名称
摘要
申请公布号
JP2004500715(A)
申请公布日期
2004.01.08
申请号
JP20010566234
申请日期
2001.03.02
申请人
发明人
分类号
H01L29/06;G02B6/12;H01L21/18;H01L21/26;H01L21/263;H01L21/268;H01L27/15;H01L33/06;H01L33/08;H01L33/30;H01S5/026;H01S5/20;H01S5/22;H01S5/34;(IPC1-7):H01L21/26
主分类号
H01L29/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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