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发明名称
摘要
申请公布号
JP2004500483(A)
申请公布日期
2004.01.08
申请号
JP20010545344
申请日期
2000.12.05
申请人
发明人
分类号
C23C14/32;C23C14/22;G11B5/39;G11B5/84;H01F41/30;H01J37/305;H01L21/321;H01L43/08;H01L43/12;(IPC1-7):C23C14/32
主分类号
C23C14/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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