发明名称
摘要
申请公布号 JP2004500483(A) 申请公布日期 2004.01.08
申请号 JP20010545344 申请日期 2000.12.05
申请人 发明人
分类号 C23C14/32;C23C14/22;G11B5/39;G11B5/84;H01F41/30;H01J37/305;H01L21/321;H01L43/08;H01L43/12;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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