发明名称 PROCESSES OF EPITAXIAL DEPOSITION OR DIFFUSION EMPLOYING A SILICON CARBIDE MASKING LAYER
摘要
申请公布号 US3451867(A) 申请公布日期 1969.06.24
申请号 USD3451867 申请日期 1966.05.31
申请人 GENERAL ELECTRIC CO. 发明人 ERNEST A. TAFT JR.;PETER V. GRAY
分类号 H01L21/00;H01L21/033;H01L21/314;(IPC1-7):H01L7/44;H01L7/36;B44D1/52 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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