发明名称 芯片的粘膜去除装置
摘要 本实用新型芯片的粘膜去除装置,是用以将切割完成的芯片上的粘膜去除;该粘膜是粘设于该芯片的底面。该粘膜去除装置包括有一吸附组件,是设置于具有粘膜的芯片的上方,用以吸附该芯片;一顶针组件,它具有一狭长的抵持面,是置于该芯片的底面,用以抵住该芯片底面的粘膜;及一真空容室,是位于该芯片的底面,用以使该芯片的粘膜被往下吸附而与该芯片脱离,据此构造,可避免芯片受力不均而造成破损或晶崩的现象,特别适用于细长型芯片的粘膜去除。
申请公布号 CN2598135Y 申请公布日期 2004.01.07
申请号 CN02295026.5 申请日期 2002.12.30
申请人 胜开科技股份有限公司 发明人 严邦杰;黄仁德;黄信元;刘庆贤
分类号 H01L21/78;H01L21/304 主分类号 H01L21/78
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 代理人 戴元毅
主权项 1、一种芯片的粘膜去除装置,是用以将切割完成的芯片上的粘膜去除,该粘膜是粘贴于该芯片的底面,其特征在于该装置包括有:一吸附组件,是设置于具有粘膜的芯片的上方,用以吸附该芯片;一顶针组件,是设置于该芯片的底面,其具有一狭长的抵持面,用以抵住该芯片底面的粘膜;及一真空容室,是位于该芯片的底面,用以使该芯片的粘膜被往下吸附而与该芯片脱离。
地址 台湾省新竹县
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