发明名称 | 芯片的粘膜去除装置 | ||
摘要 | 本实用新型芯片的粘膜去除装置,是用以将切割完成的芯片上的粘膜去除;该粘膜是粘设于该芯片的底面。该粘膜去除装置包括有一吸附组件,是设置于具有粘膜的芯片的上方,用以吸附该芯片;一顶针组件,它具有一狭长的抵持面,是置于该芯片的底面,用以抵住该芯片底面的粘膜;及一真空容室,是位于该芯片的底面,用以使该芯片的粘膜被往下吸附而与该芯片脱离,据此构造,可避免芯片受力不均而造成破损或晶崩的现象,特别适用于细长型芯片的粘膜去除。 | ||
申请公布号 | CN2598135Y | 申请公布日期 | 2004.01.07 |
申请号 | CN02295026.5 | 申请日期 | 2002.12.30 |
申请人 | 胜开科技股份有限公司 | 发明人 | 严邦杰;黄仁德;黄信元;刘庆贤 |
分类号 | H01L21/78;H01L21/304 | 主分类号 | H01L21/78 |
代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 戴元毅 |
主权项 | 1、一种芯片的粘膜去除装置,是用以将切割完成的芯片上的粘膜去除,该粘膜是粘贴于该芯片的底面,其特征在于该装置包括有:一吸附组件,是设置于具有粘膜的芯片的上方,用以吸附该芯片;一顶针组件,是设置于该芯片的底面,其具有一狭长的抵持面,用以抵住该芯片底面的粘膜;及一真空容室,是位于该芯片的底面,用以使该芯片的粘膜被往下吸附而与该芯片脱离。 | ||
地址 | 台湾省新竹县 |