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发明名称
METHOD OF FABRICATING AN OXIDE LAYER ON A SILICON CARBIDE LAYER UTILIZING AN ANNEAL IN A HYDROGEN ENVIRONMENT
摘要
申请公布号
EP1378006(A2)
申请公布日期
2004.01.07
申请号
EP20020733980
申请日期
2002.04.12
申请人
CREE, INC.
发明人
LIPKIN, LORI, A.;DAS, MRINAL, KANTI
分类号
H01L21/316;H01L21/04;H01L21/28;H01L21/314;H01L21/318;H01L29/24;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/316
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
地址
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