| 发明名称 | 放电灯光源装置和方法 | ||
| 摘要 | 一种用于超紫外线微型光刻的毛细管超紫外灯光源装置和方法。毛细管光源包括：灯体(306)；具有电极(300)、绝缘体(302)和放电等离子体区域(304)的内孔。 | ||
| 申请公布号 | CN1134043C | 申请公布日期 | 2004.01.07 |
| 申请号 | CN98813826.3 | 申请日期 | 1998.12.28 |
| 申请人 | 中佛罗里达大学 | 发明人 | W·T·西尔弗瓦斯特;M·A·克洛森尔;G·M·希姆卡外格 |
| 分类号 | H01J35/20 | 主分类号 | H01J35/20 |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 李湘 |
| 主权项 | 1.一种在11纳米-14纳米波长区域内操作毛细管放电光源的方法，其特征在于包括以下步骤：(a)在内孔尺寸为1毫米左右并且至少有一种辐射气体的毛细管光源内形成放电，放电电流为约2000-10000安培之间；以及(b)从放电光源辐射出在约11-14纳米之间选择的波长区域。 | ||
| 地址 | 美国佛罗里达州 | ||