| 发明名称 | 硅酸盐的选择性刻蚀 | ||
| 摘要 | 采用含化合物的氟化物和某些有机溶剂的混合物刻蚀硅酸盐玻璃。较佳考虑的刻蚀混合物也包含水。 | ||
| 申请公布号 | CN1133600C | 申请公布日期 | 2004.01.07 |
| 申请号 | CN98108337.4 | 申请日期 | 1998.05.21 |
| 申请人 | 国际商业机器公司 | 发明人 | 戴维·L·拉斯;兰加拉詹·亚加纳桑;肯尼斯·J·迈克库罗;基斯·R·波普;卡伦·P·迈登;哈罗德·F·奥克－施米德 |
| 分类号 | C03C15/00 | 主分类号 | C03C15/00 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王永刚 |
| 主权项 | 1.选择性刻蚀硅酸盐玻璃的方法，包括用刻蚀混合物接触含有所述硅酸盐玻璃和二氧化硅的制品，刻蚀混合物由大约0.05到3摩尔的氟化物和有机溶剂组成，所述溶剂选自环丁砜，氧杂环戊烷，酯，酮，醛，内酯，卤化的碳氢化合物，一羟基的醇，胺和酰亚胺，从而使得选择性刻蚀所述硅酸盐玻璃的速率大于所述二氧化硅的刻蚀速率。 | ||
| 地址 | 美国纽约 | ||