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Method for making field effect devices and capacitors with thin film dielectrics and resulting devices
摘要
申请公布号
EP1098358(A3)
申请公布日期
2004.01.07
申请号
EP20000309578
申请日期
2000.10.30
申请人
LUCENT TECHNOLOGIES INC.
发明人
ALERS, GLENN B.
分类号
H01L27/04;H01L21/02;H01L21/283;H01L21/3105;H01L21/316;H01L21/321;H01L21/334;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/06;H01L27/108;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/02
主分类号
H01L27/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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