微滴沉积装置

摘要

一种微滴沉积装置，其包含：多个流体腔(2)，每一个流体喷射腔部分地由至少一个壁(11)来限定，以实施从该腔中的微滴喷射。该装置设置有：用于向壁(11)循环地供给电信号以使其激发的装置(16)；用于测量的装置(60)，在将连续的电信号施加到壁之间的时间段内，该装置测量所述激发器装置的与温度相关的电特性，以提供一个大小取决于在与所述激发器装置相关联的流体腔中的流体温度的信号；以及依据与温度相关的该信号的大小来调节激发电信号大小的装置。

主权项

1.一种微滴沉积装置，它包含：多个流体腔；压电激发器装置，对于每一个流体腔，该压电激发器装置可由电信号激发，以实施从该腔中的微滴喷射；用于向每一个所述激发器装置循环地供给电信号以使其激发的装置；用于测量的装置，在将连续的电信号施加到所述激发器装置之间的时间段内，该装置测量所述激发器装置的与温度相关的电特性，以提供一个大小取决于在与所述激发器装置相关联的流体腔中的流体的温度的信号；以及依据与温度相关的该信号的大小来调节激发电信号大小的装置。