一种动态范围和测量精度可调的哈特曼波前传感器

摘要

一种动态范围和测量精度可调的哈特曼波前传感器由光学匹配系统、波面分割取样阵列元件、测量子孔径选通控制元件和CCD探测器组成，测量子孔径选通控制元件位于波面分割取样阵列的前面或后面，或光学匹配系统中与波面分割取样阵列的共轭位置，测量子孔径选通控制元件的采样通光子孔径与波面分割取样阵列子孔径的相同，通过控制测量子孔径的采样通光子孔径的选通来控制波面分割取样阵列的采样周期，以达到调整波前传感器测量精度和动态范围的目的。本通过采样分辨率的选择，既可以测量低频、P－V值大的像差，又可测高频、P－V值小的像差，具有结构简单、应用适应性强的优点，可广泛应用于光学加工的粗、精像差测量。

主权项

1、一种动态范围和测量精度可调的哈特曼波前传感器，由光学匹配系统、波面分割取样阵列元件和CCD探测器组成，其特征在于：在波面分割取样阵列的前面或后面，或光学匹配系统与波面分割取样阵列的共轭位置加入测量子孔径选通控制元件，测量子孔径选通控制元件的采样通光子孔径与波面分割取样阵列子孔径的相同，通过控制测量子孔径的采样通光子孔径的选通来控制波面分割取样阵列的采样周期，调整哈特曼的测量动态范围。