| 发明名称 |
Support arm shield for reducing cross contamination during ion implantation |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2390476(A) |
申请公布日期 |
2004.01.07 |
| 申请号 |
GB20020015417 |
申请日期 |
2002.07.03 |
| 申请人 |
* APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
ADRIAN * MURRELL |
| 分类号 |
B65G1/00;H01J27/00;H01J37/02;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317 |
主分类号 |
B65G1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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