发明名称 INJECTION SEEDED F 2? LASER WITH PRE-INJECTED FILTER
摘要
申请公布号 EP1378035(A1) 申请公布日期 2004.01.07
申请号 EP20020721677 申请日期 2002.04.04
申请人 CYMER, INC. 发明人 SANDSTROM, RICHARD, L.;PARTLO, WILLIAM, N.;ONKELS, ECKEHARD, D.
分类号 H01L21/027;G03F7/20;H01S3/03;H01S3/036;H01S3/038;H01S3/041;H01S3/08;H01S3/0943;H01S3/097;H01S3/0971;H01S3/102;H01S3/139;H01S3/22;H01S3/223;H01S3/225;H01S3/23;(IPC1-7):H01S3/10;H01S3/13 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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