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发明名称 ANGLED SENSORS FOR DETECTING SUBSTRATES
摘要
申请公布号 AU2003245591(A1) 申请公布日期 2004.01.06
申请号 AU20030245591 申请日期 2003.06.20
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 SHINICHI KURITA
分类号 H01L21/67;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
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