| 发明名称 |
Supercritical fluid(SCF) silylation process |
| 摘要 |
A process of silylation of object surfaces using a mixture of a silylation agent in admixture with an inert liquified gas, such as carbon dioxide.
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| 申请公布号 |
US6673521(B2) |
申请公布日期 |
2004.01.06 |
| 申请号 |
US20000735404 |
申请日期 |
2000.12.12 |
| 申请人 |
LNTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
MOREAU WAYNE M.;MCCULLOUGH KENNETH J.;MEDEIROS DAVID R.;SIMONS JOHN P.;TAFT CHARLES J. |
| 分类号 |
G03F7/26;G03F7/40;(IPC1-7):G03F7/26 |
主分类号 |
G03F7/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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