| 发明名称 |
DEVICE FOR ELLIPSOMETRIC TWO-DIMENSIONAL DISPLAY OF SAMPLE, DISPLAY METHOD AND ELLIPSOMETRIC MEASUREMENT METHOD WITH SPATIAL RESOLUTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL156480(D0) |
申请公布日期 |
2004.01.04 |
| 申请号 |
IL20010156480 |
申请日期 |
2001.12.18 |
| 申请人 |
UNIVERSITE PIERRE ET MARIE CURIE;CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) |
发明人 |
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| 分类号 |
G01N21/64;G01B11/06;G01N21/17;G01N21/21;G01N21/27;G01N37/00;(IPC1-7):G01N |
主分类号 |
G01N21/64 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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