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发明名称 Acid generator and thin film composition containing the same
摘要
申请公布号 EP1359465(A3) 申请公布日期 2004.01.02
申请号 EP20030008779 申请日期 2003.04.22
申请人 KOREA KUMHO PETROCHEMICAL CO. LTD. 发明人 PARK, JO HYEON;LEE, JOUNG BUM;KIM, SEONG JU
分类号 C08K5/41;C07C303/26;C07C309/65;C07C309/73;C08F216/14;C08F216/34;C08F220/26;C08K5/42;C08L25/02;C08L29/10;C08L29/12;C08L33/06;G03F7/004;G03F7/038;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 C08K5/41
代理机构 代理人
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