| 发明名称 |
TANK FOR EPITAXY INSTALLATION AND INSTALLATION COMPRISING ONE SUCH TANK |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1373604(A1) |
申请公布日期 |
2004.01.02 |
| 申请号 |
EP20020730343 |
申请日期 |
2002.04.04 |
| 申请人 |
ADDON |
发明人 |
GRANGE, OLIVIER;BOUCHA B, PIERRE |
| 分类号 |
C23C14/24;C30B23/06;(IPC1-7):C30B23/06 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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