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发明名称 DIFFUSER AND RAPID CYCLE CHAMBER
摘要
申请公布号 EP1374286(A2) 申请公布日期 2004.01.02
申请号 EP20020759138 申请日期 2002.03.21
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 HALSEY, HARLAN, I.;JACOB, DAVID, E.
分类号 B05B1/06;C23C14/56;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/00;B01J3/02;C23F4/00;C30B35/00 主分类号 B05B1/06
代理机构 代理人
主权项
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