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发明名称
Ceramic heater device and film forming device using the same
摘要
申请公布号
EP1148151(A3)
申请公布日期
2004.01.02
申请号
EP20010201066
申请日期
2001.03.22
申请人
NHK SPRING CO.LTD.;ASM JAPAN K.K.
发明人
HANAMACHI, TOSHIHIKO;TACHIKAWA, TOSHIHIRO;FUKUDA, HIDEAKI
分类号
H05B3/20;C23C16/458;C23C16/46;H01L21/00;H01L21/31;H05B3/10;H05B3/18;(IPC1-7):C23C16/46
主分类号
H05B3/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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