发明名称 Ceramic heater device and film forming device using the same
摘要
申请公布号 EP1148151(A3) 申请公布日期 2004.01.02
申请号 EP20010201066 申请日期 2001.03.22
申请人 NHK SPRING CO.LTD.;ASM JAPAN K.K. 发明人 HANAMACHI, TOSHIHIKO;TACHIKAWA, TOSHIHIRO;FUKUDA, HIDEAKI
分类号 H05B3/20;C23C16/458;C23C16/46;H01L21/00;H01L21/31;H05B3/10;H05B3/18;(IPC1-7):C23C16/46 主分类号 H05B3/20
代理机构 代理人
主权项
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