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发明名称 Base stabilization system
摘要
申请公布号 EP1373877(A1) 申请公布日期 2004.01.02
申请号 EP20020733812 申请日期 2002.03.01
申请人 CYMER, INC. 发明人 LUBLIN, LEONARD;WARKENTIN, DAVID J.;PLETNER, BARUCH;RULE, JOHN, A.
分类号 G03F7/20;G05D3/00;F16F15/00;F16F15/02;F16F15/027;(IPC1-7):G01N21/86 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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