发明名称 |
METHOD FOR MANUFACTURING THIN FILM TRANSISTOR, LIQUID CRYSTAL DISPLAY AND ELECTRONIC DEVICE BOTH PRODUCED BY THE METHOD |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0844670(B1) |
申请公布日期 |
2004.01.02 |
申请号 |
EP19970925278 |
申请日期 |
1997.06.04 |
申请人 |
SEIKO EPSON CORPORATION |
发明人 |
ISHIGURO, HIDETO;NAKAZAWA, TAKASHI |
分类号 |
G02F1/1362;H01L21/314;H01L21/336;H01L29/45;H01L29/49;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786;H01L21/324;H01L21/28;H01L21/310 |
主分类号 |
G02F1/1362 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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